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靶材对溅射沉积TiO_(2)涂层微观结构与性能的影响

罗侃李文元姚泉李健智丁泽良

包装学报2024，Vol.16Issue(6)：P.33-40,8.

包装学报2024，Vol.16Issue(6)：P.33-40,8.DOI:10.3969/j.issn.1674-7100.2024.06.005

罗侃 ¹李文元 ¹姚泉 ¹李健智 ¹丁泽良¹

作者信息

钛合金/靶材/磁控溅射/氧化钛/涂层

矿业与冶金

罗侃,李文元,姚泉,李健智,丁泽良..靶材对溅射沉积TiO_(2)涂层微观结构与性能的影响[J].包装学报,2024,16(6):P.33-40,8.

湖南省自然科学基金资助项目(2023JJ50163)。（2023JJ50163）

ISSN：1674-7100

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