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基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿研究

郑鹏 陈锃琰 唐之晨 阮育娇 王若宇 赵岩 刘暾东

计量学报2024，Vol.45Issue(12)：P.1762-1771,10.
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计量学报2024，Vol.45Issue(12)：P.1762-1771,10.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2024.12.03

基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿研究

郑鹏 1陈锃琰 2唐之晨 2阮育娇 1王若宇 2赵岩 3刘暾东2

作者信息

  • 1. 厦门市计量检定测试院,福建厦门361004
  • 2. 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门361102
  • 3. 国机中设新能源开发有限责任公司,北京100055
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摘要

关键词

几何量计量/晶圆校准器/误差补偿/回转误差/数理统计法/集合平均/小波阈值去噪

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

郑鹏,陈锃琰,唐之晨,阮育娇,王若宇,赵岩,刘暾东..基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿研究[J].计量学报,2024,45(12):P.1762-1771,10.

基金项目

2022年度国家市场监督管理总局科技计划(2022MK138)。 （2022MK138）

计量学报

OA北大核心CSTPCD

1000-1158

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