物理学报2025，Vol.74Issue(2)：P.215-222,8.DOI:10.7498/aps.74.20241438
微波等离子化学气相沉积法制备高浓度金刚石-空位色心及其性能研究
刘厚盛 1郭世峰 1陈明 1张国凯 1郭崇 1高学栋 2蔚翠2
作者信息
- 1. 豫西集团中南钻石有限公司,南阳473264
- 2. 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051 河北半导体研究所,固态微波器件与电路全国重点实验室,石家庄050051
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摘要
关键词
金刚石单晶/高氮/氮-空位色心/傅里叶变换红外光谱/磁探测分类
数理科学引用本文复制引用
刘厚盛,郭世峰,陈明,张国凯,郭崇,高学栋,蔚翠..微波等离子化学气相沉积法制备高浓度金刚石-空位色心及其性能研究[J].物理学报,2025,74(2):P.215-222,8.
