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金刚石线切割单晶硅制绒研究进展

黄虎一雄 李杰 章金兵 王旭生

电源技术2025，Vol.49Issue(1)：P.92-98,7.
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电源技术2025，Vol.49Issue(1)：P.92-98,7.DOI:10.3969/j.issn.1002-087X.2025.01.010

金刚石线切割单晶硅制绒研究进展

黄虎一雄 1李杰 1章金兵 2王旭生3

作者信息

  • 1. 浙江理工大学材料科学与工程学院,浙江杭州310018 浙大宁波理工学院材料科学与工程学院,浙江宁波315100
  • 2. 浙大宁波理工学院材料科学与工程学院,浙江宁波315100
  • 3. 浙江理工大学材料科学与工程学院,浙江杭州310018
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石线切割/单晶硅片/制绒工艺/热处理

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

黄虎一雄,李杰,章金兵,王旭生..金刚石线切割单晶硅制绒研究进展[J].电源技术,2025,49(1):P.92-98,7.

基金项目

宁波市自然科学基金重点项目(2022J148) （2022J148）

宁波市甬江人才工程创新人才项目(2022A-095-G)。 （2022A-095-G）

电源技术

OA北大核心

1002-087X

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