镍及其合金超精密抛光技术研究进展OA北大核心
镍及其合金作为高新技术领域的重要基础材料,对其表面质量的要求日益提升。然而,由于其韧性高、硬度高、导热系数小,可加工性较差,传统表面加工方法存在加工硬化、表面划痕、加工效率低等问题,因此对镍及其合金进行超精密抛光已成为一个极其重要的研究方向。聚焦于高效率、高质量、低损伤抛光,综述了应用于镍及其合金加工的电化学抛光(ECP)、化学机械抛光(CMP)、磁流变抛光(MRF)与激光抛光(LP)技术的原理、特点以及国内外研究现状。从表面质量、抛光效率、形状限制、环境污染以及加工成本这几个方面对各超精密抛光技术进行了对比,并概述了不同抛光技术的优缺点,分析了不同种类镍合金所适用的抛光方法。归纳总结发现,ECP与CMP成本较低,是目前加工镍及其合金的主流方式,但其抛光液存在污染。MRF与LP对环境友好,可用于复杂形状表面的抛光,但操作过程复杂、成本较高。最后基于目前镍及其合金超精密抛光所存在的问题与现有的技术,对超精密抛光技术的发展趋势进行了展望,以期为进一步研究镍及其合金的超精密抛光提供理论指导。
韩嘉茹;蒋淼锦;陈倚;魏雅晓;乔冬升;徐姿仪;弓爱君
北京科技大学化学与生物工程学院,北京100083 北京科技大学功能分子与晶态材料科学与应用北京市重点实验室,北京100083北京科技大学功能分子与晶态材料科学与应用北京市重点实验室,北京100083 北京科技大学材料科学与工程学院,北京100083北京科技大学化学与生物工程学院,北京100083 北京科技大学功能分子与晶态材料科学与应用北京市重点实验室,北京100083北京科技大学化学与生物工程学院,北京100083 北京科技大学功能分子与晶态材料科学与应用北京市重点实验室,北京100083北京科技大学功能分子与晶态材料科学与应用北京市重点实验室,北京100083 北京科技大学材料科学与工程学院,北京100083北京科技大学化学与生物工程学院,北京100083 北京科技大学功能分子与晶态材料科学与应用北京市重点实验室,北京100083北京科技大学化学与生物工程学院,北京100083 北京科技大学功能分子与晶态材料科学与应用北京市重点实验室,北京100083
金属材料
镍合金抛光材料去除机理抛光效率表面质量超精密
《表面技术》 2025 (1)
P.97-109,13
北京科技大学教育教学重大教改项目(JG2021ZD01)北京科技大学校级规划教材项目(JC2021YB040)大学生创新创业项目。
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