物理学报2025，Vol.74Issue(2)：P.236-244,9.DOI:10.7498/aps.74.20240972
退火温度对磁控溅射掺锡氧化镓薄膜特性及其日盲光电探测器性能的影响
摘要
关键词
射频磁控溅射/掺锡氧化镓薄膜/退火温度/日盲光电探测器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
许怡红,范伟航,王尘..退火温度对磁控溅射掺锡氧化镓薄膜特性及其日盲光电探测器性能的影响[J].物理学报,2025,74(2):P.236-244,9.基金项目
厦门市自然科学基金(批准号:3502Z202373061) （批准号:3502Z202373061）
福建省自然科学基金(批准号:2023J011459) （批准号:2023J011459）
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福建省教育厅科技计划(批准号:JAT200484) （批准号:JAT200484）
福建省科学技术协会资助的课题. （）
