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铜金属化中扩散阻挡层的研究进展

李荣斌 康旭 周滔 张如林 蒋春霞 王璐

表面技术2025，Vol.54Issue(1)：P.84-96,13.
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表面技术2025，Vol.54Issue(1)：P.84-96,13.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2025.01.008

铜金属化中扩散阻挡层的研究进展

李荣斌 1康旭 2周滔 3张如林 3蒋春霞 3王璐3

作者信息

  • 1. 上海理工大学材料与化学学院,上海200093 上海电机学院材料学院,上海201306
  • 2. 上海理工大学材料与化学学院,上海200093
  • 3. 上海电机学院材料学院,上海201306
  • 折叠

摘要

关键词

铜金属化/扩散阻挡层/薄膜制备/石墨烯/自组装分子层/高熵合金

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

李荣斌,康旭,周滔,张如林,蒋春霞,王璐..铜金属化中扩散阻挡层的研究进展[J].表面技术,2025,54(1):P.84-96,13.

基金项目

国家自然科学基金联合基金重点项目(U23A20607) （U23A20607）

上海市工业强基专项(GYQJ-2023-1-06) （GYQJ-2023-1-06）

上海大件热制造工程技术研究中心项目(18DZ2253400)。 （18DZ2253400）

表面技术

OA北大核心

1001-3660

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