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HiPIMS制备Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层对DLC薄膜结构及性能的影响

滑利强 苏峰华 李吉 林松盛

表面技术2025，Vol.54Issue(1)：P.62-73,12.
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表面技术2025，Vol.54Issue(1)：P.62-73,12.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2025.01.006

HiPIMS制备Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层对DLC薄膜结构及性能的影响

滑利强 1苏峰华 2李吉 3林松盛4

作者信息

  • 1. 华南理工大学机械与汽车工程学院,广州510640 广东省科学院新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室,广州510650
  • 2. 华南理工大学机械与汽车工程学院,广州510640
  • 3. 福建联合石油化工有限公司,福建泉州362800
  • 4. 广东省科学院新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室,广州510650
  • 折叠

摘要

关键词

HiPIMS/DLC薄膜/摩擦学性能/过渡层/耐磨性/耐腐蚀性能

分类

机械制造

引用本文复制引用

滑利强,苏峰华,李吉,林松盛..HiPIMS制备Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层对DLC薄膜结构及性能的影响[J].表面技术,2025,54(1):P.62-73,12.

基金项目

国家自然科学基金(52175168) （52175168）

广东省基础与应用基础研究基金(2023A1515240006)。 （2023A1515240006）

表面技术

OA北大核心

1001-3660

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