物理学报2025，Vol.74Issue(1)：P.85-91,7.DOI:10.7498/aps.74.20240711
离子溅射对合金靶材寿命的影响
倪唯荣 1黄海龙 2卢肖勇 1王晓冬2
作者信息
- 1. 核工业理化工程研究院,天津300180 粒子输运与富集技术重点实验室,天津300180
- 2. 东北大学机械工程与自动化学院,沈阳110167
- 折叠
摘要
关键词
离子溅射/分子动力学/合金靶材/服役寿命分类
矿业与冶金引用本文复制引用
倪唯荣,黄海龙,卢肖勇,王晓冬..离子溅射对合金靶材寿命的影响[J].物理学报,2025,74(1):P.85-91,7.
