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相衬光学相干层析的薄膜全场力学测量方法

吴睿 白玉磊 董博

光学精密工程2024,Vol.32Issue(22):P.3266-3276,11.
光学精密工程2024,Vol.32Issue(22):P.3266-3276,11.DOI:10.37188/OPE.20243222.3266

相衬光学相干层析的薄膜全场力学测量方法

吴睿 1白玉磊 1董博1

作者信息

  • 1. 广东工业大学自动化学院,广东广州510006
  • 折叠

摘要

关键词

相衬光学相干层析/应变测量/弹性模量/泊松比/力学特性表征

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

吴睿,白玉磊,董博..相衬光学相干层析的薄膜全场力学测量方法[J].光学精密工程,2024,32(22):P.3266-3276,11.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.62171140,No.62273105)。 (No.62171140,No.62273105)

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

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