光学精密工程2024,Vol.32Issue(22):P.3266-3276,11.DOI:10.37188/OPE.20243222.3266
相衬光学相干层析的薄膜全场力学测量方法
摘要
关键词
相衬光学相干层析/应变测量/弹性模量/泊松比/力学特性表征分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吴睿,白玉磊,董博..相衬光学相干层析的薄膜全场力学测量方法[J].光学精密工程,2024,32(22):P.3266-3276,11.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.62171140,No.62273105)。 (No.62171140,No.62273105)