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基于异质多维集成的微型三分量磁通门传感器

戴毓含马权坤邱翔吴涛孙学成雷冲

数字海洋与水下攻防2024，Vol.7Issue(6)：P.580-587,8.

数字海洋与水下攻防2024，Vol.7Issue(6)：P.580-587,8.DOI:10.19838/j.issn.2096-5753.2024.06.001

戴毓含 ¹马权坤 ¹邱翔 ²吴涛 ³孙学成 ²雷冲¹

作者信息

1. 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米纳米加工技术全国重点实验室,上海200240
2. 上海大学机电工程与自动化学院微电子研发中心,上海200444 教育部高级显示与系统应用重点实验室,上海200072 贵州航天测控技术研究所,贵州贵阳550009
3. 自然资源部第二海洋研究所海底地球科学重点实验室,浙江杭州310012
折叠

MEMS/异质多维集成/三分量/磁通门传感器

信息技术与安全科学

戴毓含,马权坤,邱翔,吴涛,孙学成,雷冲..基于异质多维集成的微型三分量磁通门传感器[J].数字海洋与水下攻防,2024,7(6):P.580-587,8.

国家重大科研仪器研制专项项目“深海热液系统孔域原位多参数探测-观测装置”(42127807-03) （42127807-03）

国家重点研发计划项目“深海硫化物资源移动式高效钻测技术与示范”(2023YFC2811100,2023YFC2811104) （2023YFC2811100,2023YFC2811104）

国家自然科学基金“基于巨磁阻效应(GMR)的磁生物传感器芯片对前列腺癌化过程中外泌体的特异性蛋白表达量的相关性研究”(52107239) （GMR）

上海交通大学“深蓝计划”基金重点项目(SL2022ZD202) （SL2022ZD202）

上海交通大学医工交叉研究基金(YG2023QNA40) （YG2023QNA40）

上海市科委专业技术服务平台资助项目(19DZ2291103) （19DZ2291103）

上海高校青年东方学者岗位计划(QD2020009)。（QD2020009）

ISSN：2096-5753

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