人工晶体学报2025，Vol.54Issue(1)：P.17-33,17.DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.20241022.001
大尺寸直拉硅单晶生长的多物理场建模与优化
摘要
关键词
硅单晶/直拉法/二维轴对称/有限元法/工艺参数/数值模拟/数字化模型分类
数理科学引用本文复制引用
林海鑫,高德东,王珊,张振忠,安燕,张文永..大尺寸直拉硅单晶生长的多物理场建模与优化[J].人工晶体学报,2025,54(1):P.17-33,17.基金项目
宜宾市科技局项目(2023YG02) （2023YG02）
西宁市科技局重大科技项目(2022-Z-03) （2022-Z-03）
青海省科技厅项目(2023-GX-C03)。 （2023-GX-C03）
