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p型TOPCon结构的隧穿氧化和钝化工艺研究

高嘉庆 屈小勇 吴翔 郭永刚 王永冈 汪梁 谭新 杨鑫泽

人工晶体学报2025，Vol.54Issue(1)：P.133-138,6.
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人工晶体学报2025，Vol.54Issue(1)：P.133-138,6.DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.20241029.003

p型TOPCon结构的隧穿氧化和钝化工艺研究

高嘉庆 1屈小勇 1吴翔 1郭永刚 2王永冈 3汪梁 1谭新 1杨鑫泽1

作者信息

  • 1. 青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司,西安710010
  • 2. 青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司,西安710010 青海黄河上游水电开发有限责任公司西宁太阳能电力分公司,西宁810000
  • 3. 青海黄河上游水电开发有限责任公司西宁太阳能电力分公司,西宁810000
  • 折叠

摘要

关键词

p型TOPCon结构/低压化学气相沉积/钝化质量/隐开路电压/暗饱和电流密度/太阳能电池

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

高嘉庆,屈小勇,吴翔,郭永刚,王永冈,汪梁,谭新,杨鑫泽..p型TOPCon结构的隧穿氧化和钝化工艺研究[J].人工晶体学报,2025,54(1):P.133-138,6.

基金项目

国家电投黄河上游水电开发有限责任公司科研项目(KY-C-2023-GF06)。 （KY-C-2023-GF06）

人工晶体学报

OA北大核心

1000-985X

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