科技创新与应用2025，Vol.15Issue(4)：P.173-176,4.DOI:10.19981/j.CN23-1581/G3.2025.04.039
半导体设备应用及产业状况分析
周晓雪 1谢观如2
作者信息
- 1. 南京农业大学经济管理学院,南京210014
- 2. 上海精测半导体技术有限公司,上海201799
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摘要
关键词
半导体/制造装备/产业状况/集成电路/制造工艺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
周晓雪,谢观如..半导体设备应用及产业状况分析[J].科技创新与应用,2025,15(4):P.173-176,4.
