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基于叉指结构的片上小电容标准单元研究

赵硕 冉自煊 陈建 杨雁

计量学报2025，Vol.46Issue(1)：P.14-18,5.
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计量学报2025，Vol.46Issue(1)：P.14-18,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2025.01.03

基于叉指结构的片上小电容标准单元研究

赵硕 1冉自煊 1陈建 1杨雁2

作者信息

  • 1. 中国计量科学研究院,北京100029
  • 2. 中国计量科学研究院,北京100029 国家市场监督管理总局重点实验室(电学量子基准),北京100029
  • 折叠

摘要

关键词

电磁计量/飞法/片上电容标准单元/叉指结构/Schwarz-Christoffel变换

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

赵硕,冉自煊,陈建,杨雁..基于叉指结构的片上小电容标准单元研究[J].计量学报,2025,46(1):P.14-18,5.

基金项目

国家重点研发计划项目(2022YFF0605503)。 （2022YFF0605503）

计量学报

OA北大核心

1000-1158

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