计量学报2025，Vol.46Issue(1)：P.106-111,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2025.01.17
量子电压芯片制备中的介质层平坦化
摘要
关键词
电学计量/量子电压芯片/平坦化/回刻/终点探测/约瑟夫森结分类
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曹樾,徐思思,钟源,李劲劲,钟青,曹文会,蔡晋辉..量子电压芯片制备中的介质层平坦化[J].计量学报,2025,46(1):P.106-111,6.基金项目
国家重点研发计划(2022YFF0608301) （2022YFF0608301）
国家自然科学基金(61971471)。 （61971471）
