液压与气动2025，Vol.49Issue(1)：P.90-94,5.DOI:10.11832/j.issn.1000-4858.2025.01.010
半导体气体流量控制器原位校准装置研究
摘要
关键词
半导体/气体流量/原位校准/流量控制器/动态pVTt/流场预测分类
机械制造引用本文复制引用
回博旭,徐志鹏,张高明,周彬,孙英恺..半导体气体流量控制器原位校准装置研究[J].液压与气动,2025,49(1):P.90-94,5.基金项目
浙江省自然科学基金(LQ24E060007) （LQ24E060007）
浙江省基本科研业务费资助项目(2022YW33) （2022YW33）
浙江省产学合作协同育人项目(2021-2022)。 （2021-2022）
