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空腔型薄膜体声波滤波器的关键技术进展

陶桂龙 支国伟 罗添友 欧阳佩东 衣新燕 李国强

无机材料学报2025，Vol.40Issue(2)：P.128-144,17.
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无机材料学报2025，Vol.40Issue(2)：P.128-144,17.DOI:10.15541/jim20240355

空腔型薄膜体声波滤波器的关键技术进展

陶桂龙 1支国伟 2罗添友 2欧阳佩东 2衣新燕 3李国强4

作者信息

  • 1. 华南理工大学集成电路学院,广州511442 华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室,广州510640
  • 2. 华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室,广州510640
  • 3. 广州市艾佛光通科技有限公司,广州510700
  • 4. 华南理工大学集成电路学院,广州511442 华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室,广州510640 广州市艾佛光通科技有限公司,广州510700
  • 折叠

摘要

关键词

FBAR滤波器/理论研究/AlN压电薄膜/技术融合/综述

分类

电子信息工程

引用本文复制引用

陶桂龙,支国伟,罗添友,欧阳佩东,衣新燕,李国强..空腔型薄膜体声波滤波器的关键技术进展[J].无机材料学报,2025,40(2):P.128-144,17.

基金项目

国家重点研发计划(2022YFB3604500,2022YFB3604501)。 （2022YFB3604500,2022YFB3604501）

无机材料学报

OA北大核心

1000-324X

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