化工进展2025，Vol.44Issue(2)：P.706-716,11.DOI:10.16085/j.issn.1000-6613.2024-0296
多晶硅还原炉气相沉积反应数值模拟
摘要
关键词
多晶硅/化学气相沉积/传热/计算流体力学/优化分类
化学化工引用本文复制引用
王思懿,许建良,代正华,武国义,王辅臣..多晶硅还原炉气相沉积反应数值模拟[J].化工进展,2025,44(2):P.706-716,11.基金项目
国家重点研发计划(2022YFB4101500) （2022YFB4101500）
新疆维吾尔自治区自然科学基金重点项目(2023D01D02) （2023D01D02）
中央高校基本科研业务费专项资金(2022ZFJH04)。 （2022ZFJH04）
