武汉工程大学学报2025，Vol.47Issue(1)：P.44-52,9.DOI:10.19843/j.cnki.CN42-1779/TQ.202409001
基片台结构和生长参数对单晶金刚石和多晶金刚石膜质量的影响
摘要
关键词
单晶金刚石/多晶金刚石膜/微波等离子体/基片台分类
矿业与冶金引用本文复制引用
刘佳,翁俊,刘繁,陈晓婧,汪建华,熊礼威..基片台结构和生长参数对单晶金刚石和多晶金刚石膜质量的影响[J].武汉工程大学学报,2025,47(1):P.44-52,9.基金项目
湖北省教育厅科学研究计划(Q20201512)。 （Q20201512）
