机电信息Issue(6)：68-70,3.DOI:10.19514/j.cnki.cn32-1628/tm.2025.06.017
硅压阻压力传感器静电损伤故障分析
金琦 1魏晓明 1李斌 1吕宏珲 1姚欣岳2
作者信息
- 1. 沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁 沈阳 110043
- 2. 电子科技大学,四川 成都 611731
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摘要
关键词
压力传感器/静电损伤/故障分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
金琦,魏晓明,李斌,吕宏珲,姚欣岳..硅压阻压力传感器静电损伤故障分析[J].机电信息,2025,(6):68-70,3.
