中国标准化Issue(S1)：P.314-319,6.
磷酸中金属离子的种类与含量对多晶硅蚀刻速率的影响
摘要
关键词
磷酸/多晶硅/金属离子/蚀刻速率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
冯凯,张庭,王书萍,尹印,贺兆波,李少平,叶瑞,杜林..磷酸中金属离子的种类与含量对多晶硅蚀刻速率的影响[J].中国标准化,2024,(S1):P.314-319,6.基金项目
中国科学技术部重点研发专项《中低品位硅钙质胶磷矿绿色高效利用及耦合制备高质磷化产品技术》项目(2022YFC2904705)资助 （2022YFC2904705）
