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辉光放电质谱仪分析太阳能级单晶硅中杂质含量的方法

王林 陈旭

中国标准化Issue(S1)：P.235-239,5.
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中国标准化Issue(S1)：P.235-239,5.

辉光放电质谱仪分析太阳能级单晶硅中杂质含量的方法

王林 1陈旭1

作者信息

  • 1. 内蒙古中环晶体材料有限公司
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摘要

关键词

太阳能级单晶硅/辉光放电质谱法/精密度/准确度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王林,陈旭..辉光放电质谱仪分析太阳能级单晶硅中杂质含量的方法[J].中国标准化,2024,(S1):P.235-239,5.

中国标准化

OACHSSCD

1002-5944

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