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电子级四甲基硅烷的检测方法

谭小龙 李琴 万富强 侯建鑫 张刚 贺兆波 李少平 叶瑞 杜林

中国标准化Issue(S1):P.219-225,7.
中国标准化Issue(S1):P.219-225,7.

电子级四甲基硅烷的检测方法

谭小龙 1李琴 1万富强 1侯建鑫 1张刚 1贺兆波 1李少平 1叶瑞 1杜林1

作者信息

  • 1. 湖北兴福电子材料股份有限公司
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摘要

关键词

电子级四甲基硅烷/检测方法/纯度检测/气相色谱/金属杂质检测/ICP-OES/ICP-MS/外观/水分/颗粒度

分类

化学化工

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谭小龙,李琴,万富强,侯建鑫,张刚,贺兆波,李少平,叶瑞,杜林..电子级四甲基硅烷的检测方法[J].中国标准化,2024,(S1):P.219-225,7.

中国标准化

OACHSSCD

1002-5944

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