表面技术2025，Vol.54Issue(6)：P.143-151,9.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2025.06.013
预制应力提高大尺寸金刚石抛光成功率
摘要
关键词
CVD金刚石膜/有限元分析/预制应力/大尺寸金刚石膜/金刚石抛光/机械抛光分类
矿业与冶金引用本文复制引用
安康,张永康,刘鹏,张亚琛,杨志亮,许光宇,李利军,冯旭瑞,吴海平,李鸿,张旭芳,刘峰斌,李成明..预制应力提高大尺寸金刚石抛光成功率[J].表面技术,2025,54(6):P.143-151,9.基金项目
国家自然科学基金(52102034,U23A2025) （52102034,U23A2025）
北京市教育委员会科学研究计划项目资助(KM202410009010) （KM202410009010）
北方工业大学有组织科研(2023YZZKY12) （2023YZZKY12）
北方工业大学研究生教育教学改革研究项目(YJS2024JG16)。 （YJS2024JG16）
