佛山科学技术学院学报(自然科学版)2025，Vol.43Issue(2)：P.55-60,6.
红外纳秒激光工艺参数对硅晶圆单次扫描烧蚀切割质量的影响
摘要
关键词
纳秒激光/硅晶圆/单次扫描切割/热影响区宽度分类
矿业与冶金引用本文复制引用
王锐,巫海文,何俊杉,陈国杰..红外纳秒激光工艺参数对硅晶圆单次扫描烧蚀切割质量的影响[J].佛山科学技术学院学报(自然科学版),2025,43(2):P.55-60,6.基金项目
粤港澳智能微纳光电技术联合实验室项目(2020B1212030010) （2020B1212030010）
标准光组件智能检测实验室建设项目(2016B01011304) （2016B01011304）
广东省半导体微显示企业重点实验室项目(2020B121202003)。 （2020B121202003）
