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真空吸附装夹对镜片面形调控的影响

王茜 姚鹏 白家荣 刘祥 李丰国 褚东凯 侯士杰 魏宗磊

光学精密工程2025,Vol.33Issue(3):P.416-426,11.
光学精密工程2025,Vol.33Issue(3):P.416-426,11.DOI:10.37188/OPE.20253303.0416

真空吸附装夹对镜片面形调控的影响

王茜 1姚鹏 1白家荣 1刘祥 1李丰国 2褚东凯 1侯士杰 3魏宗磊3

作者信息

  • 1. 山东大学机械工程学院先进射流工程技术研究中心,山东济南250061 高效洁净机械制造教育部重点实验室,山东济南250061
  • 2. 山东大学机械工程学院先进射流工程技术研究中心,山东济南250061 高效洁净机械制造教育部重点实验室,山东济南250061 歌尔股份有限公司,山东潍坊261061
  • 3. 歌尔股份有限公司,山东潍坊261061
  • 折叠

摘要

关键词

真空吸附/平面镜片/吸附孔式夹具/装夹变形/面形调控

分类

机械制造

引用本文复制引用

王茜,姚鹏,白家荣,刘祥,李丰国,褚东凯,侯士杰,魏宗磊..真空吸附装夹对镜片面形调控的影响[J].光学精密工程,2025,33(3):P.416-426,11.

基金项目

国家重点研发计划项目(No.2023YFC2413301) (No.2023YFC2413301)

山东省重大科技创新工程项目(No.2023CXGC010207)。 (No.2023CXGC010207)

光学精密工程

OA北大核心

1004-924X

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