光学精密工程2025,Vol.33Issue(3):P.416-426,11.DOI:10.37188/OPE.20253303.0416
真空吸附装夹对镜片面形调控的影响
摘要
关键词
真空吸附/平面镜片/吸附孔式夹具/装夹变形/面形调控分类
机械制造引用本文复制引用
王茜,姚鹏,白家荣,刘祥,李丰国,褚东凯,侯士杰,魏宗磊..真空吸附装夹对镜片面形调控的影响[J].光学精密工程,2025,33(3):P.416-426,11.基金项目
国家重点研发计划项目(No.2023YFC2413301) (No.2023YFC2413301)
山东省重大科技创新工程项目(No.2023CXGC010207)。 (No.2023CXGC010207)