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晶圆定位标记光学成像的自适应聚焦评价

杨金张航瑛孟凯楼佩煌

光学精密工程2025，Vol.33Issue(3)：P.389-401,13.

光学精密工程2025，Vol.33Issue(3)：P.389-401,13.DOI:10.37188/OPE.20253303.0389

杨金 ¹张航瑛 ²孟凯 ²楼佩煌¹

作者信息

1. 南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016
2. 南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016 微波光子技术国家级重点实验室,江苏南京210016 工业和信息化部空天集成电路与微系统重点实验室,江苏南京210016
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成像系统/图像质量评价/边缘分析/自动聚焦/聚焦函数

机械制造

杨金,张航瑛,孟凯,楼佩煌..晶圆定位标记光学成像的自适应聚焦评价[J].光学精密工程,2025,33(3):P.389-401,13.

国家自然科学基金资助项目(No.62205175) （No.62205175）

江苏省科技成果转化专项资金揭榜挂帅项目(No.BA2021005) （No.BA2021005）

江苏省重点研发计划揭榜挂帅项目课题(No.BE2023015-2) （No.BE2023015-2）

南京航空航天大学引进人才科研启动项目(No.YAH22047,No.YAH23025)。（No.YAH22047,No.YAH23025）

OA北大核心

ISSN：1004-924X

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