人工晶体学报2025，Vol.54Issue(3)：P.445-451,7.DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2024.0312
新型亚氧化物化学气相传输工艺低成本生长β-Ga_(2)O_(3)厚膜
摘要
关键词
亚氧化物化学气相传输/β-Ga_(2)O_(3)/厚膜/低成本/超宽禁带半导体分类
数理科学引用本文复制引用
陈旭阳,李昊勃,秦华垚,许明耀,卢寅梅,何云斌..新型亚氧化物化学气相传输工艺低成本生长β-Ga_(2)O_(3)厚膜[J].人工晶体学报,2025,54(3):P.445-451,7.基金项目
国家自然科学基金(62274057,11975093,52202132) （62274057,11975093,52202132）
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目(T201901)。 （T201901）
