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双向高过载硅基差压敏感元件的研制

杜立群 李奥奇 李蒙 杨晓臣 孟祥悦 邱汇烽

光学精密工程2025，Vol.33Issue(2)：P.209-219,11.
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光学精密工程2025，Vol.33Issue(2)：P.209-219,11.DOI:10.37188/OPE.20253302.0209

双向高过载硅基差压敏感元件的研制

杜立群 1李奥奇 1李蒙 1杨晓臣 1孟祥悦 1邱汇烽1

作者信息

  • 1. 大连理工大学高性能精密制造全国重点实验室,辽宁大连116024 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连116024
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摘要

关键词

MEMS/差压敏感元件/有限元/尺寸优化/过载能力

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

杜立群,李奥奇,李蒙,杨晓臣,孟祥悦,邱汇烽..双向高过载硅基差压敏感元件的研制[J].光学精密工程,2025,33(2):P.209-219,11.

基金项目

国家重点研发计划资助项目(No.2023YFB3209003)。 （No.2023YFB3209003）

光学精密工程

OA北大核心

1004-924X

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