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氧化镍/氧化镓异质结二极管台面终端技术研究

文俊棚 郝伟兵 韩照 徐光伟 龙世兵

人工晶体学报2025,Vol.54Issue(3):P.517-523,7.
人工晶体学报2025,Vol.54Issue(3):P.517-523,7.DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2024.0328

氧化镍/氧化镓异质结二极管台面终端技术研究

文俊棚 1郝伟兵 1韩照 1徐光伟 1龙世兵1

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学微电子学院,合肥230026
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摘要

关键词

氧化镓/氧化镍异质结二极管/台面终端/退火/击穿电压

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

文俊棚,郝伟兵,韩照,徐光伟,龙世兵..氧化镍/氧化镓异质结二极管台面终端技术研究[J].人工晶体学报,2025,54(3):P.517-523,7.

人工晶体学报

OA北大核心

1000-985X

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