人工晶体学报2025，Vol.54Issue(3)：P.462-469,8.DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2024.0289
Ga_(2)O_(3)∶Si薄膜制备及其日盲紫外光电探测器性能研究
摘要
关键词
Ga_(2)O_(3)∶Si薄膜/氩氧流量比/磁控溅射/异质结/日盲紫外光电探测器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张献,岳志昂,赵恩钦,魏帅康,叶文轩,黄敏怡,辛美波,赵洋,王辉..Ga_(2)O_(3)∶Si薄膜制备及其日盲紫外光电探测器性能研究[J].人工晶体学报,2025,54(3):P.462-469,8.基金项目
国家自然科学基金(61674052,52002120) （61674052,52002120）
河南省自然科学基金(242300420280) （242300420280）
河南省科技研发计划联合基金(242103810049)。 （242103810049）
