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氧化镓异质衬底集成技术研究进展

瞿振宇 徐文慧 江昊东 梁恒硕 赵天成 谢银飞 孙华锐 邹新波 游天桂 齐红基 韩根全 欧欣

人工晶体学报2025，Vol.54Issue(3)：P.470-490,21.
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人工晶体学报2025，Vol.54Issue(3)：P.470-490,21.DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2024.0315

氧化镓异质衬底集成技术研究进展

瞿振宇 1徐文慧 1江昊东 2梁恒硕 1赵天成 1谢银飞 3孙华锐 3邹新波 2游天桂 1齐红基 4韩根全 5欧欣1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,集成电路材料全国重点实验室,上海200050
  • 2. 上海科技大学信息科学与技术学院,上海201210
  • 3. 哈尔滨工业大学(深圳),微纳光电信息系统理论与技术工业和信息化部重点实验室,深圳518055
  • 4. 中国科学院上海光学精密机械研究所,强激光材料重点实验室,上海201800 杭州光学精密机械研究所,杭州311421
  • 5. 西安电子科技大学微电子学院,西安710071
  • 折叠

摘要

关键词

氧化镓/异质衬底集成/异质外延/机械剥离/离子束剥离转移/热管理

分类

数理科学

引用本文复制引用

瞿振宇,徐文慧,江昊东,梁恒硕,赵天成,谢银飞,孙华锐,邹新波,游天桂,齐红基,韩根全,欧欣..氧化镓异质衬底集成技术研究进展[J].人工晶体学报,2025,54(3):P.470-490,21.

基金项目

上海市战略前沿项目(24DP1500100) （24DP1500100）

国家自然科学基金(62404236,62293520,62293521)。 （62404236,62293520,62293521）

人工晶体学报

OA北大核心

1000-985X

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