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高频薄膜体声波滤波器设计方法

赵睿 刘莹玉 杨宇军 吴道伟

现代电子技术2025,Vol.48Issue(8):P.25-29,5.
现代电子技术2025,Vol.48Issue(8):P.25-29,5.DOI:10.16652/j.issn.1004-373x.2025.08.005

高频薄膜体声波滤波器设计方法

赵睿 1刘莹玉 1杨宇军 1吴道伟1

作者信息

  • 1. 西安微电子技术研究所,陕西西安710065
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摘要

关键词

薄膜体声波谐振器/高频滤波器/多物理场仿真/等效电路模型/先进设计系统/MBVD

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

赵睿,刘莹玉,杨宇军,吴道伟..高频薄膜体声波滤波器设计方法[J].现代电子技术,2025,48(8):P.25-29,5.

基金项目

国家重点研发计划项目(2023YFB4404105)。 (2023YFB4404105)

现代电子技术

OA北大核心

1004-373X

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