人工晶体学报2025，Vol.54Issue(3)：P.420-425,6.DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2024.0300
c面蓝宝石衬底上ε-Ga_(2)O_(3)的金属有机物化学气相沉积
王子铭 1张雅超 1冯倩 1刘仕腾 1刘雨虹 1王垚 1王龙 1张进成 1郝跃1
作者信息
- 1. 西安电子科技大学集成电路学部,西安710000
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摘要
关键词
ε-Ga_(2)O_(3)/金属有机物化学气相沉积/蓝宝石衬底/晶体生长/宽禁带半导体/X射线衍射/原子力显微镜分类
数理科学引用本文复制引用
王子铭,张雅超,冯倩,刘仕腾,刘雨虹,王垚,王龙,张进成,郝跃..c面蓝宝石衬底上ε-Ga_(2)O_(3)的金属有机物化学气相沉积[J].人工晶体学报,2025,54(3):P.420-425,6.
