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X射线光电子能谱测试参数对CaF_(2)氧元素含量测试结果的影响

侯瑶 崔云 陶春先 冯殿福

理化检验(物理分册)2025，Vol.61Issue(3)：P.25-31,7.
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理化检验(物理分册)2025，Vol.61Issue(3)：P.25-31,7.DOI:10.11973/lhjy-wl230376

X射线光电子能谱测试参数对CaF_(2)氧元素含量测试结果的影响

侯瑶 1崔云 2陶春先 3冯殿福1

作者信息

  • 1. 上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800
  • 2. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800
  • 3. 上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093
  • 折叠

摘要

关键词

X射线光电子能谱/刻蚀深度剖析/表面吸附/表面分析技术/SRIM软件

分类

机械制造

引用本文复制引用

侯瑶,崔云,陶春先,冯殿福..X射线光电子能谱测试参数对CaF_(2)氧元素含量测试结果的影响[J].理化检验(物理分册),2025,61(3):P.25-31,7.

基金项目

上海理工大学专业学位研究生实践基地项目(23-24-302-001) （23-24-302-001）

中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室开放课题(FCLT202303)。 （FCLT202303）

理化检验(物理分册)

1001-4012

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