南京工业大学学报(自然科学版)2025，Vol.47Issue(2)：P.157-167,11.DOI:10.3969/j.issn.1671-7627.2025.02.004
面向MoS _(2)晶体管的ZrO _(2)介电层沉积工艺
摘要
关键词
原子层沉积/ZrO_(2)/MoS_(2)/沉积温度/沉积循环周期分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
邓会琼,吴林祥,陈翔..面向MoS _(2)晶体管的ZrO _(2)介电层沉积工艺[J].南京工业大学学报(自然科学版),2025,47(2):P.157-167,11.基金项目
国家自然科学基金(52372152) （52372152）
江苏省国际科技合作计划(BZ2024038)。 （BZ2024038）
