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4H-SiC同质外延材料堆垛层错缺陷的表征与研究

芦伟立 房玉龙 李帅 王启蘅 韩明睿 王波

标准科学Issue(S1)：P.359-363,5.
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标准科学Issue(S1)：P.359-363,5.

4H-SiC同质外延材料堆垛层错缺陷的表征与研究

芦伟立 1房玉龙 1李帅 1王启蘅 1韩明睿 1王波1

作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所
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摘要

关键词

SiC/外延/缺陷/堆垛层错

分类

信息技术与安全科学

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芦伟立,房玉龙,李帅,王启蘅,韩明睿,王波..4H-SiC同质外延材料堆垛层错缺陷的表征与研究[J].标准科学,2025,(S1):P.359-363,5.

标准科学

1674-5698

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