激光技术2025,Vol.49Issue(4):P.617-625,9.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2025.04.021
InGaAs-Si基光电探测器异质集成技术研究进展
摘要
关键词
集成光学/光电集成技术/异质异构集成/铟镓砷/硅基光电子/探测器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李宛励,周鑫,孔繁林,陈庆敏,梁丕刚,舒域鑫,代千,宋海智..InGaAs-Si基光电探测器异质集成技术研究进展[J].激光技术,2025,49(4):P.617-625,9.基金项目
国家重点研发计划资助项目(2018YFE0200902)。 (2018YFE0200902)