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InGaAs-Si基光电探测器异质集成技术研究进展

李宛励 周鑫 孔繁林 陈庆敏 梁丕刚 舒域鑫 代千 宋海智

激光技术2025,Vol.49Issue(4):P.617-625,9.
激光技术2025,Vol.49Issue(4):P.617-625,9.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2025.04.021

InGaAs-Si基光电探测器异质集成技术研究进展

李宛励 1周鑫 1孔繁林 1陈庆敏 1梁丕刚 1舒域鑫 1代千 1宋海智2

作者信息

  • 1. 西南技术物理研究所激光雷达与器件技术重点实验室,成都610041 中国兵器工业集团有限公司激光器件技术重点实验室,成都610041
  • 2. 西南技术物理研究所激光雷达与器件技术重点实验室,成都610041 中国兵器工业集团有限公司激光器件技术重点实验室,成都610041 电子科技大学基础与前沿研究院,成都610054
  • 折叠

摘要

关键词

集成光学/光电集成技术/异质异构集成/铟镓砷/硅基光电子/探测器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李宛励,周鑫,孔繁林,陈庆敏,梁丕刚,舒域鑫,代千,宋海智..InGaAs-Si基光电探测器异质集成技术研究进展[J].激光技术,2025,49(4):P.617-625,9.

基金项目

国家重点研发计划资助项目(2018YFE0200902)。 (2018YFE0200902)

激光技术

OA北大核心

1001-3806

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