化学工程2025，Vol.53Issue(8)：P.25-30,6.DOI:10.3969/j.issn.1005-9954.2025.08.005
六甲基二氮硅烷电子级精馏纯化特性
刘周恩 1陈臻 2徐永杰3
作者信息
- 1. 中国科学院过程工程研究所绿色过程与工程重点实验室,北京100191
- 2. 济南大学化学化工学院,山东济南250024
- 3. 中国科学院过程工程研究所绿色过程与工程重点实验室,北京100191 中国科学院大学化学工程学院,北京100049
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摘要
关键词
六甲基二硅氮烷/电子级/纯化/精馏分类
化学化工引用本文复制引用
刘周恩,陈臻,徐永杰..六甲基二氮硅烷电子级精馏纯化特性[J].化学工程,2025,53(8):P.25-30,6.
