火箭推进2025，Vol.51Issue(4)：P.126-135,144,11.DOI:10.3969/j.issn.1672-9374.2025.04.014
MEMS型硅基压阻压力传感器的增敏设计与分析
摘要
关键词
微机电系统/薄膜/压阻/温度/灵敏度分类
农业科技引用本文复制引用
黄允祗,马帅,尹忠良,凌思睿,张春伟..MEMS型硅基压阻压力传感器的增敏设计与分析[J].火箭推进,2025,51(4):P.126-135,144,11.基金项目
国家自然科学基金(52306020)。 （52306020）
