金刚石与磨料磨具工程2025，Vol.45Issue(4)：P.526-533,8.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2024.0161
双面抛光对石英掩模基板表面形貌的影响
张诚 1秦瑞 1白吉浩1
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摘要
关键词
二氧化铈/双面抛光/掩模基板/表面形貌分类
矿业与冶金引用本文复制引用
张诚,秦瑞,白吉浩..双面抛光对石英掩模基板表面形貌的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2025,45(4):P.526-533,8.
