原子能科学技术2025，Vol.59Issue(S2)：P.534-542,9.DOI:10.7538/yzk.2025.youxian.0228
基底偏压调控超薄PI薄膜表面铜涂层的结构和性能
摘要
关键词
直流磁控溅射镀膜/聚酰亚胺薄膜/负偏压/表面金属化/XPS分类
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钟利,陈美艳,刘旋,张悦,姚可,姜亚南,魏于苹..基底偏压调控超薄PI薄膜表面铜涂层的结构和性能[J].原子能科学技术,2025,59(S2):P.534-542,9.基金项目
中核集团“青年英才”项目(2023JZYF-01,2022JZYF-04) （2023JZYF-01,2022JZYF-04）
西物创新行动项目(202301XWCX003)。 （202301XWCX003）
