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巨磁阻隔离器的设计与工艺制备

李尧 吴回州

电子科技大学学报2025，Vol.54Issue(5)：P.700-705,6.
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电子科技大学学报2025，Vol.54Issue(5)：P.700-705,6.DOI:10.12178/1001-0548.2024210

巨磁阻隔离器的设计与工艺制备

李尧 1吴回州2

作者信息

  • 1. 兰州交通大学电子与信息工程学院,兰州730070
  • 2. 兰州交通大学电子与信息工程学院,兰州730070 甘肃省科学院传感技术研究所甘肃省传感器与传感技术重点实验室,兰州730000
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摘要

关键词

巨磁阻隔离器/磁控溅射法/光刻/SiO_(2)隔离栅/耐压强度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李尧,吴回州..巨磁阻隔离器的设计与工艺制备[J].电子科技大学学报,2025,54(5):P.700-705,6.

基金项目

国家自然科学基金(61905102,62264008) （61905102,62264008）

甘肃省高校青年博士支持项目(2024QB-050)。 （2024QB-050）

电子科技大学学报

OA北大核心

1001-0548

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