激光技术2025,Vol.49Issue(5):P.726-732,7.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2025.05.014
基于光学偏振法的直线度误差测量
摘要
关键词
物理光学/直线度测量/偏振光/小角度测量分类
物理学引用本文复制引用
孙怡,张宝武,王依兵,刘维,罗贤欢,许子杰,方振远,朱玲..基于光学偏振法的直线度误差测量[J].激光技术,2025,49(5):P.726-732,7.基金项目
国家重点研发计划资助项目(2023YFF0616203,2023YFF0616200) (2023YFF0616203,2023YFF0616200)
国家自然科学基金资助项目(62373339) (62373339)
浙江省自然科学基金重点资助项目(LZ24F030007)。 (LZ24F030007)