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纳米晶金刚石钝化GaN基横向二极管制备与性能

任泽阳 宋松原 张涛 陈鹤元 李姚 张金风 李俊鹏 陈军飞 朱卫东 郝跃 张进成

物理学报2025，Vol.74Issue(19)：P.336-344,9.
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物理学报2025，Vol.74Issue(19)：P.336-344,9.DOI:10.7498/aps.74.20250523

纳米晶金刚石钝化GaN基横向二极管制备与性能

任泽阳 1宋松原 2张涛 2陈鹤元 2李姚 3张金风 1李俊鹏 4陈军飞 1朱卫东 2郝跃 2张进成2

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学,宽禁带半导体器件与集成技术全国重点实验室,西安710071 西安电子科技大学芜湖研究院,芜湖241002
  • 2. 西安电子科技大学,宽禁带半导体器件与集成技术全国重点实验室,西安710071
  • 3. 西安理工大学,西安710048
  • 4. 西安电子科技大学芜湖研究院,芜湖241002
  • 折叠

摘要

关键词

纳米晶金刚石/GaN/二极管/散热

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

任泽阳,宋松原,张涛,陈鹤元,李姚,张金风,李俊鹏,陈军飞,朱卫东,郝跃,张进成..纳米晶金刚石钝化GaN基横向二极管制备与性能[J].物理学报,2025,74(19):P.336-344,9.

基金项目

山东省重点研发计划(批准号:2022CXGC020306) （批准号:2022CXGC020306）

国家自然科学基金(批准号:62127812,62374122,62134006,62204193,62421005) （批准号:62127812,62374122,62134006,62204193,62421005）

中国博士后科学基金(批准号:2021TQ0256) （批准号:2021TQ0256）

中央高校基本科研业务费(批准号:XJSJ24054,YJSJ24020) （批准号:XJSJ24054,YJSJ24020）

安徽省重点研发项目(批准号:2023a05020006) （批准号:2023a05020006）

合肥综合性国家科学中心资助的课题。 （）

物理学报

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1000-3290

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