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浅析碳化硅陶瓷在半导体行业的应用与研究进展

和娇娇 关嘉豪 王萌

陶瓷Issue(10)：77-78,89,3.
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陶瓷Issue(10)：77-78,89,3.

浅析碳化硅陶瓷在半导体行业的应用与研究进展

和娇娇 1关嘉豪 1王萌1

作者信息

  • 1. 咸阳陶瓷研究设计院有限公司 陕西 咸阳 712000
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摘要

关键词

碳化硅陶瓷/半导体/应用/发展

分类

化学化工

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和娇娇,关嘉豪,王萌..浅析碳化硅陶瓷在半导体行业的应用与研究进展[J].陶瓷,2025,(10):77-78,89,3.

陶瓷

1002-2872

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