中国粉体技术2025，Vol.31Issue(6)：P.143-156,14.DOI:10.13732/j.issn.1008-5548.2025.06.003
聚苯乙烯颗粒在晶圆表面的均匀沉积方法
张子恒 1任军 1刘悦 2刘俊杰2
作者信息
- 1. 太原理工大学省部共建煤基能源清洁高效利用国家重点实验室,化学工程与技术学院,山西太原030024
- 2. 中国计量科学研究院环境计量中心,北京100029
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张子恒,任军,刘悦,刘俊杰..聚苯乙烯颗粒在晶圆表面的均匀沉积方法[J].中国粉体技术,2025,31(6):P.143-156,14.基金项目
国家重点研发项目,编号:2023YFF0616400。 （）
