有色金属材料与工程2025，Vol.46Issue(5)：P.64-71,8.DOI:10.13258/j.cnki.nmme.20250212001
La/Cl掺杂CeO_(2)磨料的制备及其抛光性能研究
摘要
关键词
化学机械抛光/CeO_(2)/La掺杂/Cl掺杂/抛光性能分类
化学化工引用本文复制引用
张培伟,张伟,吴渊,王旭,李鑫,金斯琴高娃,张栋梁,赵延,周薇,王觅堂..La/Cl掺杂CeO_(2)磨料的制备及其抛光性能研究[J].有色金属材料与工程,2025,46(5):P.64-71,8.基金项目
国家重点研发计划资助项目(2023YFB3507100) （2023YFB3507100）
内蒙古自治区科技重大专项(2019ZD023 （）
2021ZD0028)。 （）
