| 注册
首页|期刊导航|大连理工大学学报|PEI功能化AlGaN/GaNHEMT的CO_(2)传感特性研究

PEI功能化AlGaN/GaNHEMT的CO_(2)传感特性研究

徐林欣 张贺秋 夏晓川 吴一航 谷海燕 朱江 郭文平 黄慧诗 梁红伟

大连理工大学学报2025,Vol.65Issue(6):P.631-637,7.
大连理工大学学报2025,Vol.65Issue(6):P.631-637,7.DOI:10.7511/dllgxb202506012

PEI功能化AlGaN/GaNHEMT的CO_(2)传感特性研究

徐林欣 1张贺秋 1夏晓川 1吴一航 1谷海燕 1朱江 1郭文平 2黄慧诗 3梁红伟1

作者信息

  • 1. 大连理工大学集成电路学院,辽宁大连116620
  • 2. 元旭半导体科技股份有限公司,山东潍坊261000
  • 3. 江苏新广联科技股份有限公司,江苏无锡214192
  • 折叠

摘要

关键词

AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)/聚乙烯亚胺(PEI)/CO_(2)传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

徐林欣,张贺秋,夏晓川,吴一航,谷海燕,朱江,郭文平,黄慧诗,梁红伟..PEI功能化AlGaN/GaNHEMT的CO_(2)传感特性研究[J].大连理工大学学报,2025,65(6):P.631-637,7.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(11975257,12075045,11875097,62074146) (11975257,12075045,11875097,62074146)

中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(DUT20RC(3)042,DUT19RC(3)074,DUT19LK45) (DUT20RC(3)

大连市科技创新基金资助项目(2023JJ12GX013). (2023JJ12GX013)

大连理工大学学报

OA北大核心

1000-8608

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文